Apparatus and method for testing semiconductor device

반도체 테스트 장치 및 그 테스트 방법

Abstract

반도체 디바이스의 테스트 공정시간의 감축을 위하여 본 발명의 반도체 테스트 장치의 테스트 방법은, 반도체의 특성을 테스트하기 위해 테스트 장치를 구성하는 다수의 테스트 모듈들에 테스트 준비신호가 입력되는 제1 단계; 상기 입력된 테스트 준비신호에 따라, 테스트를 수행하기 위해 테스트 장치의 동작을 준비하는 동안 상기 다수의 테스트 모듈이 각각의 비지신호를 발생하는 제2 단계; 및 상기 발생된 비지신호가 모두 중단되면 상기 반도체를 테스트하는 제3 단계를 포함한다. 또한, 본 발명의 테스트 제어부는 반도체를 테스트하기 위한 준비 기간동안 비지신호를 발생하는 다수의 테스트 모듈들과 이를 제어하는 테스트 제어부를 구비한다.
PURPOSE: An apparatus and a method of testing a semiconductor device are provided to shorten a time required for a test by controlling a test control device according to characteristics of test modules. CONSTITUTION: A plurality of test preparation signals are inputted into a plurality of test modules in order to test characteristics of a semiconductor device. The test modules generate busy signals while a test device performs a preparing operation according to the test preparation signals(S240-S260). The semiconductor device is tested if the generated busy signals are interrupted(S270,S280). The test device includes the test modules for generating the busy signals and a test controller for testing the semiconductor device by using the test modules.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle