반도체의 메인 광원 위치 자동 계측방법

Method for measuring main lamp position automatic in semiconductor

Abstract

PURPOSE: A method of measuring automatically a position of a main lamp of a semiconductor is provided to maintain an optimum state of a lamp and improve a throughput by measuring automatically a maximum power position of the lamp. CONSTITUTION: An automatic lamp position calculation tool program is installed in tool software. The power is measured in a measuring step pitch by using a power measurement sensor. The measured value is compared with a predetermined value corresponding to a lower power limit. A maximum power position on an x-axis and a y-axis is determined by the comparing process. An updating process is performed by using the determined value.
본 발명은 반도체의 메인 광원 위치 자동 계측방법에 관한 것으로, 광원 위치 자동 계산 툴(tool) 프로그램을 공구 소프트웨어에 인스톨(install)하는 단계와, 인스톨 된 상태에서, 파워 계측 센서를 이용하여 측정 스텝 피치만큼 이동하면서 파워를 계측하는 단계와, 계측된 값이 로우 파워 리밋(lower power limit)에 지정된 수치 이상인지를 판단하는 단계와, 판단에서 지정된 수치 이상이 나오는 영역을 모두 기억하여 x, y 방향의 최대 파워 위치 센터로 결정하는 단계와, 결정된 값을 컨스턴트 파일 내 좌표 값에 결정된 값을 업데이트(update)하는 단계를 포함한다. 따라서, 램프 교체 시마다, 램프의 최대 파워의 위치를 항상 계측하여 램프를 최상의 상태에서 사용하도록 하며, 높은 파워를 통해 스루 풋(through put)을 향상시킬 수 있다. 또한, 한 셧(shot)을 노광할 때, 셔터의 오픈(open) 시간을 줄여 노광 주기를 줄일 수 있는 효과가 있다.

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