Shower head, apparatus of manufacturing thin film and method for manufacturing thin film

샤워헤드, 박막제조장치 및 제조방법

Abstract

PURPOSE: A showerhead, and apparatus and method for fabricating thin film are provided to improve productivity by using a structure for exchanging the sufficient quantity of heat and controlling a temperature thereof according to film-forming conditions. CONSTITUTION: A showerhead(3) is used for introducing a film-forming gas from an upper part of a film-forming vessel(1) into an upper space within the film-forming vessel in order to form a film on a substrate. The showerhead is so designed that a showerhead structure is incorporated into an upper cap(2) of the film-forming vessel. A heat exchange unit is disposed in the upper cap in order to control the temperature of the upper cap and to exchange the heat at a contact surface between a disk-shaped shower plate constituting a showerhead surface and the upper cap. The temperature of the showerhead is controlled in consideration of the film-forming conditions selected.
(과제) 막형성 조건에 맞춰 온도제어가 가능한 샤워헤드, 양호한 막두께분포, 조성분포, 막형성 레이트를 재현시키면서, 파티클수가 수가 적고 장기간에 걸쳐 연속막형성을 안정되게 행할 수 있는 생산성, 양산성이 우수한 박막제조장치 및 제조방법의 제공. (해결수단) 샤워헤드 구조가 막형성조의 상부덮개에 장착되고, 상부덮개에 열교환수단을 형성하여 상부덮개를 온도제어함으로써, 샤워헤드 표면을 구성하는 샤워플레이트와 상부덮개와의 접촉면에서 열교환을 행하고 막형성 조건에 맞춰 샤워헤드를 온도제어가 가능하도록 구성하였다. 이 샤워헤드를 막형성조에 구비한 박막제조장치, 이 장치를 사용하여 박막을 제조한다.

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