Microreplication tool with gas release features

가스 해제 형상부를 갖춘 미세 복제 공구

Abstract

일 실시예에 있어서, 미세 복제 공구는 가스가 공구의 미세 복제 공극으로부터 새나가는 것을 허용하는 가스 해제 형상부를 포함한다. 가스 해제 형상부는 미세 복제 공정 동안 공극 내부의 공기 포획을 회피시키도록 각각의 공극의 바닥부에 배치될 수 있다. 이러한 방식으로, 미세 복제 제품의 품질을 향상될 수 있다.

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