Multi Vertical Equipment for Wet Process of FPD

평판 디스플레이의 습윤 공정용 다단 수직형 장치

Abstract

본 발명에 따른 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치는 기판(10)을 로딩/언로딩(loading/unloading)하기 위한 로더/언로더 장치(1), 기판을 처리장치로 이송하고 처리된 기판을 처리장치로부터 이송받으며 앞뒤로 왕복운동하는 복수개의 병렬 배열된 이송대가 수직으로 설치된 이송장치(2), 및 기판(10)이 60∼90°의 각도로 유지되어 처리하기 위한 복수개의 병렬 배열된 처리대가 수직으로 설치된 처리장치(3)로 이루어지는 것을 그 특징으로 한다. 본 발명은 로더/언로더 장치와 이송장치 사이, 및 이송장치와 처리장치 사이에 차단 셔터(5)를 추가적으로 더 설치할 수 있다.
PURPOSE: A multi-stage vertical apparatus is provided to reduce the area occupied by the apparatus and costs by processing a substrate arranged in a vertical direction through multiple steps. CONSTITUTION: A multi-stage vertical apparatus comprises a loader/unloader unit(1), a transfer unit(2), and a processing unit(3). The loader/unloader is arranged to load/unload a substrate(10) of a flat panel display. The transfer unit transfers the substrate to the processing unit and receives the processed substrate from the processing unit. The transfer unit includes a plurality of transfer boards(2a,2b,2c,2d) which stand upright in parallel with each other such that the transfer boards reciprocate in forward and rearward directions. The processing unit includes a plurality of processing boards(3a,3b,3c,3d) which stand upright in parallel with each other so as to process the substrate.

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