Hydrophilic components for a spin-rinse-dryer

스핀-린스-드라이어를 위한 친수성 성분들

Abstract

스핀-린스-드라이어(SRD)는 기판을 보유하고 회전시키는 기판 지지체, 및 상기 기판 지지체 상에 위치되는 기판 표면에 유체를 공급하는 유체 소스를 포함한다. 또한 SRD는 기판 지지체 상에서 회전하는 기판으로부터 배출되는 유체를 수용하도록 위치된 적어도 하나의 차폐물을 포함한다. 차폐물은 기판을 면하는 표면이 친수성 특성을 갖도록 파티클-블라스트처리된 기판을 면하는 표면을 포함한다.

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